Methyl in Eindhoven

Gestern hab ich meine Probe aus Rom bekommen. Vor cirka einem Monat habe ich meine erste Maske gezeichnet. Die habe ich dann nach Rom geschickt und die haben sie dann mit Elektronenstrahllithographie auf einen Wafer geschrieben. Dann haben sie ihn wieder zu mir geschickt damit ich ihn weiterprozessiere. Heute habe ich dann begonnen ein gutes Rezept auf dem ICP (Inductively coupled plasma) zu suchen. Rezept bedeutet in dem Fall eigentlich fast das gleiche wie in der Küche, nur dass man statt Mehl und Zucker halt Chlor, Argon und sonstige Chemikalien zusammenmischt und schaut ob was gescheites dabei rauskommt. Das ganze macht man dann natülich auch nicht im Ofen sondern in einer Kiste die etwas größer ist als eine Kommode wo hunderttausend Schläuche und Kabel reingehen. Das ganze steht natürlich im Reinraum.
Zum Glück haben die Burschen hier einiges an Erfahrung und haben einen Ausgangspunkt empfohlen und auch Vorschläge was man verändern kann gegeben. Die ersten Bilder schauen schon recht vielversprechend aus. Morgen schauen wir uns dann die Ergebnisse von heute im Rasterelektronenmikroskop an. Dann können wir entscheiden in welche Richtung wir unser Rezept abändern sollen. Also, morgen könnte ein interessanter Tag werden.